许强主任带队赴中科院微电子所调研

发布日期: 2018- 12- 17 信息来源: 市科委双新处,北京新材料发展中心 字号:[ ]

近日,北京市科委党组书记、主任许强带队赴中科院微电子所调研,考察集成电路先导工艺研发中心,了解硅基光电研发平台等建设情况,并与微电子所所长叶甜春,副所长王宇、刘新宇等交流座谈。市科委副主任张光连陪同调研。

许强一行参观了微电子所集成电路先导工艺研发中心净化工艺线,听取了微电子所科研工作进展、硅基光电研发平台建设、以及中科院集成电路创新研究院筹备等方面工作情况的介绍。

许强肯定了微电子所在科研平台建设、推进成果转化等方面的做法,并指出,北京正在加快建设具有全球影响力的全国科技创新中心,希望微电子所发挥在硅基光电、微纳加工等领域的优势,加大创新力度,培育更多创新成果,市科委将与微电子所深化合作,瞄准国家战略需求,打造硅基光电领域高水平创新平台,更好支撑科技创新中心建设。

叶甜春所长对市科委长期以来对微电子所科技创新给予的支持表示感谢,并表示,硅基光电研发平台和微纳加工平台的技术提升是微电子所未来发展重点,希望深化与市科委的合作,加强科技创新和成果转化工作力度,为科技创新中心建设贡献力量。

据悉,微电子所硅基光电研发平台是国内首个8英寸硅光平台,也是目前国内唯一提供硅光子工艺全流程的平台,开发了成套硅光工艺库和器件库,制订了工艺规范和设计规则,形成PDK(平台工艺设计套件),并与主流光学设计软件实现了集成。截至2018年底,该平台已为70多家客户提供MPW(多项目晶圆)流片服务和定制化流片服务,改变了以往我国硅光流片基本依赖国外平台的局面,为我国硅光子技术研究和产品研发提供了有力支持。

市科委办公室、双新处、电装处,北京新材料发展中心负责同志陪同调研。

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