大束流离子注入机装备及工艺研发

  知识产权目录(只填已授权知识产权支撑材料,按重要程度排序,限10个)
序号 知识产权类别 授权项目名称 国(区)别 授权号 授权公告日 发明人 权利人
1发明专利权Method for transmitting a broadband ion beam and ion implanter美国US9263230B22015-03-12彭立波,龙会跃,谢均宇北京中科信电子装备有限公司
2发明专利权Broadband ion beam analyzer美国US9123522B22014-10-23彭立波,龙会跃,谢均宇北京中科信电子装备有限公司
3发明专利权一种带电粒子束流磁场聚焦结构及应用该结构的离子注入机中国ZL201510741661.42018-08-14张丛北京中科信电子装备有限公司
4发明专利权一种半导体器件的掺杂方法中国ZL201410105802.92018-04-06刘金彪,李俊峰,王垚,刘青,张浩,蒋浩杰,张琦辉中国科学院微电子研究所
5发明专利权离子源系统和离子束流系统中国ZL201310297942.62016-12-28洪俊华,陈炯上海凯世通半导体股份有限公司
6发明专利权一种离子注入机的靶盘装置中国ZL201710456645.X2019-02-02康晓旭,曾绍海上海集成电路研发中心有限公司
7发明专利权一种利用线绳弹簧拉伸的推杆式晶圆夹持装置中国ZL201210192117.52015-02-18朱煜,杨开明,李鑫,汪劲松,张鸣,徐登峰,穆海华,尹文生,胡金春,崔乐卿,余东东清华大学


  知识产权目录(标准)
序号 标准名称 类别 标准号/备案号


  知识产权目录(论文)
序号 论文(专著)名称 刊名/出版社 发表时间 通讯作者 第一作者 论文全部作者 SCI他引次数 他引总次数 年卷期页码 是否国内完成
1Three-Dimensional Carrier Profiling of Individual Si Nanowires by Scanning Spreading Resistance MicroscopyADVANCED MATERIALS/Wiley2010-08-16欧欣欧欣欧欣,Pratyush Das Kanungo,Reinhard Kogler,Peter Werner,Ulrich Gosele,Wolfgang Skorupa,王曦711Adv. Mater. 2010, 22, 4020–4024
2Comparative study of the ion-slicing mechanism of Y-cut LiNbO3AIP Advances2019-08-01欧欣黄凯黄凯,李忠旭,鄢有泉,赵晓蒙,李文琴,游天桂,张师斌,周鸿燕,林家杰,徐文慧,伊艾伦,黄浩,周民,俞文杰,谢均宇,曾晓斌,刘仁杰,欧欣00AIP Advances 9, 085001 (2019);
3预非晶化和碳共注入在超浅结工艺中的应用半导体技术2016-10-20许晓燕许晓燕许晓燕,陈文杰,刘兴龙00vol. 41, no. 10, pp. 764-768


  国家法律法规要求的行业批准文件目录(不超过10个)
序号 批准文件名称 产品名称 批准单位 批准时间 申请单位


  经济效益支撑材料目录(限10个)
序号 候选单位 支撑材料种类 名称 应用方 效益产生日期 经济效益(万元) 备注
1北京中科信电子装备有限公司销售合同中芯离子注入机销售合同中芯国际集成电路制造(北京)有限公司2017-05-262340
2北京中科信电子装备有限公司销售合同燕东大束流离子注入机设备采购合同北京燕东微电子科技有限公司2019-01-241559.2
3北京中科信电子装备有限公司销售合同西安微电子设备购销合同书西安微电子技术研究所2018-11-292133
4北京中科信电子装备有限公司销售合同清华大学 设备销售合同清华大学2018-07-26360
5北京中科信电子装备有限公司销售合同重庆中科设备仪器采购合同重庆中科渝芯电子有限公司2019-05-10405
6上海凯世通半导体股份有限公司销售合同泰州中来设备采购合同泰州中来光电科技股份有限公司2018-12-2810462.89
7上海凯世通半导体股份有限公司销售合同晶澳 国内设备合同晶澳(扬州)太阳能科技有限公司2018-12-28630
8上海凯世通半导体股份有限公司销售合同国电投西安离子注入机采购合同国家电投集团西安太阳能电力有限公司2018-12-28355.5
9北京中科信电子装备有限公司销售合同东莞帕萨 设备销售合同东莞帕萨电子装备有限公司2019-05-07690
10北京中科信电子装备有限公司销售合同采购订单长江存储科技有限责任公司2019-08-061392


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