知识产权目录(只填已授权知识产权支撑材料,按重要程度排序,限10个) | |||||||
序号 | 知识产权类别 | 授权项目名称 | 国(区)别 | 授权号 | 授权公告日 | 发明人 | 权利人 |
1 | 发明专利权 | Method for transmitting a broadband ion beam and ion implanter | 美国 | US9263230B2 | 2015-03-12 | 彭立波,龙会跃,谢均宇 | 北京中科信电子装备有限公司 |
2 | 发明专利权 | Broadband ion beam analyzer | 美国 | US9123522B2 | 2014-10-23 | 彭立波,龙会跃,谢均宇 | 北京中科信电子装备有限公司 |
3 | 发明专利权 | 一种带电粒子束流磁场聚焦结构及应用该结构的离子注入机 | 中国 | ZL201510741661.4 | 2018-08-14 | 张丛 | 北京中科信电子装备有限公司 |
4 | 发明专利权 | 一种半导体器件的掺杂方法 | 中国 | ZL201410105802.9 | 2018-04-06 | 刘金彪,李俊峰,王垚,刘青,张浩,蒋浩杰,张琦辉 | 中国科学院微电子研究所 |
5 | 发明专利权 | 离子源系统和离子束流系统 | 中国 | ZL201310297942.6 | 2016-12-28 | 洪俊华,陈炯 | 上海凯世通半导体股份有限公司 |
6 | 发明专利权 | 一种离子注入机的靶盘装置 | 中国 | ZL201710456645.X | 2019-02-02 | 康晓旭,曾绍海 | 上海集成电路研发中心有限公司 |
7 | 发明专利权 | 一种利用线绳弹簧拉伸的推杆式晶圆夹持装置 | 中国 | ZL201210192117.5 | 2015-02-18 | 朱煜,杨开明,李鑫,汪劲松,张鸣,徐登峰,穆海华,尹文生,胡金春,崔乐卿,余东东 | 清华大学 |
知识产权目录(标准) | |||
序号 | 标准名称 | 类别 | 标准号/备案号 |
知识产权目录(论文) | ||||||||||||
序号 | 论文(专著)名称 | 刊名/出版社 | 发表时间 | 通讯作者 | 第一作者 | 论文全部作者 | SCI他引次数 | 他引总次数 | 年卷期页码 | 是否国内完成 | ||
1 | Three-Dimensional Carrier Profiling of Individual Si Nanowires by Scanning Spreading Resistance Microscopy | ADVANCED MATERIALS/Wiley | 2010-08-16 | 欧欣 | 欧欣 | 欧欣,Pratyush Das Kanungo,Reinhard Kogler,Peter Werner,Ulrich Gosele,Wolfgang Skorupa,王曦 | 7 | 11 | Adv. Mater. 2010, 22, 4020–4024 | 是 | ||
2 | Comparative study of the ion-slicing mechanism of Y-cut LiNbO3 | AIP Advances | 2019-08-01 | 欧欣 | 黄凯 | 黄凯,李忠旭,鄢有泉,赵晓蒙,李文琴,游天桂,张师斌,周鸿燕,林家杰,徐文慧,伊艾伦,黄浩,周民,俞文杰,谢均宇,曾晓斌,刘仁杰,欧欣 | 0 | 0 | AIP Advances 9, 085001 (2019); | 是 | ||
3 | 预非晶化和碳共注入在超浅结工艺中的应用 | 半导体技术 | 2016-10-20 | 许晓燕 | 许晓燕 | 许晓燕,陈文杰,刘兴龙 | 0 | 0 | vol. 41, no. 10, pp. 764-768 | 是 |
国家法律法规要求的行业批准文件目录(不超过10个) | |||||
序号 | 批准文件名称 | 产品名称 | 批准单位 | 批准时间 | 申请单位 |
经济效益支撑材料目录(限10个) | |||||||
序号 | 候选单位 | 支撑材料种类 | 名称 | 应用方 | 效益产生日期 | 经济效益(万元) | 备注 |
1 | 北京中科信电子装备有限公司 | 销售合同 | 中芯离子注入机销售合同 | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 | 2017-05-26 | 2340 | |
2 | 北京中科信电子装备有限公司 | 销售合同 | 燕东大束流离子注入机设备采购合同 | 北京燕东微电子科技有限公司 | 2019-01-24 | 1559.2 | |
3 | 北京中科信电子装备有限公司 | 销售合同 | 西安微电子设备购销合同书 | 西安微电子技术研究所 | 2018-11-29 | 2133 | |
4 | 北京中科信电子装备有限公司 | 销售合同 | 清华大学 设备销售合同 | 清华大学 | 2018-07-26 | 360 | |
5 | 北京中科信电子装备有限公司 | 销售合同 | 重庆中科设备仪器采购合同 | 重庆中科渝芯电子有限公司 | 2019-05-10 | 405 | |
6 | 上海凯世通半导体股份有限公司 | 销售合同 | 泰州中来设备采购合同 | 泰州中来光电科技股份有限公司 | 2018-12-28 | 10462.89 | |
7 | 上海凯世通半导体股份有限公司 | 销售合同 | 晶澳 国内设备合同 | 晶澳(扬州)太阳能科技有限公司 | 2018-12-28 | 630 | |
8 | 上海凯世通半导体股份有限公司 | 销售合同 | 国电投西安离子注入机采购合同 | 国家电投集团西安太阳能电力有限公司 | 2018-12-28 | 355.5 | |
9 | 北京中科信电子装备有限公司 | 销售合同 | 东莞帕萨 设备销售合同 | 东莞帕萨电子装备有限公司 | 2019-05-07 | 690 | |
10 | 北京中科信电子装备有限公司 | 销售合同 | 采购订单 | 长江存储科技有限责任公司 | 2019-08-06 | 1392 |