北京市科学技术委员会

2020年国家技术发明奖项目提名公示内容

一、项目名称：纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用

二、提名单位：北京市

三、提名等级：

提名该项目为国家技术发明奖一等奖

四、主要知识产权和标准规范等目录（不超过10件）：

知识产权（标准）类别	知识产权（标准）具体名称	国家（地区）	授权号（标准编号）	授权（标准发布）日期	证书编号（标准批准发布部门）	权利人（标准起草单位）	发明人（标准起草人）	发明专利（标准）有效状态
发明专利权	一种6自由度微动工作台	中国	ZL200710118130.5	2009-07-01	517700	清华大学，北京华卓精科科技股份有限公司	朱煜，汪劲松，张鸣，李广，徐登峰，尹文生，段广洪，贾松涛	有权
发明专利权	采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统	中国	ZL200910172949.9	2011-08-17	827468	清华大学，北京华卓精科科技股份有限公司	朱煜，张鸣，汪劲松，闵伟，尹文生，胡金春，徐登峰，杨开明，段广洪，田丽，许岩	有权
发明专利权	Dual-stage switching system for lithographic machine	美国	US8284380B2	2012-10-09	美国专利无编号	清华大学	朱煜，张鸣，汪劲松，李广，徐登峰，尹文生，段广洪，杨开明	有权
发明专利权	Dual wafer stage exchanging system for lithographic device	美国	US9030648B2	2015-05-12	美国专利无编号	清华大学	朱煜，张鸣，汪劲松，田丽，徐登峰，尹文生，段广洪，胡金春	有权
发明专利权	Dual-stage exchange system for lithographic apparatus	美国	US8860927B2	2014-10-14	美国专利无编号	清华大学	朱煜，张鸣，汪劲松，田丽，徐登峰，尹文生，段广洪，胡金春	有权
发明专利权	Dual wafer stage switching system for a lithography machine	美国	US9547245B2	2017-01-17	美国专利无编号	清华大学	朱煜，陈亚英，张鸣，徐登峰，汪劲松	有权
发明专利权	Method for measuring displacement of large-range moving platform	美国	US9182217B2	2015-11-10	美国专利无编号	清华大学	张鸣，朱煜，刘昊，蒋毅，刘召，杨开明，胡金春，徐登峰，穆海华，尹文生	有权
发明专利权	Nanometer-precision six-degree-of-freedom magnetic suspension micro-motion table and application thereof	美国	US8599361B2	2013-12-03	美国专利无编号	清华大学	朱煜，张鸣，李广，汪劲松，胡金春，尹文生，杨开明，张利，马竞，许岩，李玉洁，田丽，段广洪	有权
发明专利权	采用三维永磁阵列的平面电机	中国	ZL200910088893.9	2011-02-16	743247	清华大学，北京华卓精科科技股份有限公司	朱煜，张鸣，汪劲松，闵伟，胡金春，尹文生，杨开明，徐登峰，段广洪，蔡田	有权
发明专利权	一种六自由度微动工作台	中国	ZL201210324261.X	2014-11-26	1526988	清华大学，北京华卓精科科技股份有限公司	张鸣，朱煜，田丽，张利，秦慧超，王平安，刘召，杨开明，徐登峰，胡金春，尹文生	有权

五、主要完成人情况（一、二等奖不超过6人）：

排序	姓名	对本项目主要技术发明的贡献	工作单位	完成单位	职称	职务
1	朱煜	本项目负责人，核心技术方案的制定者和决策人，领导和组织实施技术方案，对项目的发明点1,2,3,4均有创造性贡献（主要专利1-10，代表性论文1-8）。规划并主持了纳米级超精密双工件台系统、大行程气浮平面电机等核心部件的自主研发，形成完整的技术体系；领导和推动了工件台关键技术在光刻机和中高端运动台上的推广应用，产生巨大的经济效益。获得发明专利授权126项，发表论文被SCI收录73篇、EI收录183篇。	清华大学	清华大学	教授	所长
2	张鸣	负责关键技术研发，主要完成双工件台结构技术方案的制定，并领导了相应的设计和制造，对项目完成和发明点1，2，4做出了创造性贡献。研发成功了气浮永磁同步平面电机和六自由度微动台，创造性提出双工件台技术方案；对工件台多项关键技术的推广应用提出创新性技术方案（主要知识产权1-10，代表性论文1-3）。获发明专利授权115项，发表论文被SCI收录30篇、EI收录73篇。	清华大学	清华大学	副研究员	无
3	杨开明	负责组织本项目技术方案的具体实施，对发明点3和4做出了创造性贡献。主要完成项目的控制系统包括电气、控制硬件、控制软件、控制算法的设计与开发，带领控制与调试团队完成了项目全部样机的控制调试工作，实现了合同规定的功能、性能考核指标。提出实现了双工件台的精密运动控制方案，负责领导和指导工件台控制系统的具体研发工作（主要知识产权2、3、7-10，代表性论文5-8）。获发明专利授权98项，发表论文被SCI收录24篇、EI收录48篇。	清华大学	清华大学	副研究员	无
4	胡金春	主要负责组织实施电机电磁分析与高性能电机功率驱动、多自由度超精密子系统研究与实现，对项目的发明点3有创造性贡献。提出高开关频率大功率电机电流驱动方法与技术实现方案，解决驱动过程动态响应与稳态精度问题；提出超精密测量过程中高分辨实现方法；提出超精密激光干涉测量的布局设计原则与实现方案、解算技术（主要知识产权2、4、5、7-10，代表性论文2-5）。获得发明专利授权98项，发表论文被SCI收录29篇、EI收录51篇。	清华大学	清华大学	副研究员	无
5	成荣	负责双工件台高性能工程材料的优化设计、制备工作，协助项目负责人进行项目的组织管理及成功推广应用。通过对微晶玻璃、高性能陶瓷、碳纤维复合材料等高性能材料的优化设计、制备工艺及加工工艺的研究，解决了双工件台轻量化、散热等技术瓶颈。对发明点2、4有创造性贡献，取得了较好经济效益（其他附件-其他-专利检索证明，126项专利列表、论文检索证明）。获得发明专利授权46项，发表论文13篇。	清华大学	北京华卓精科科技股份有公司	助理研究员	无
6	李鑫	负责双工件台粗动台运动控制和成果的应用推广。针对平面电机的运动控制，提出了一种自适应解耦控制和变增益非线性控制算法，成功实现了平面电机的多自由度运动控制，支撑了双工件台最终精度的实现。通过将成果进行有效推广应用，取得了良好的经济效益，对发明点1、4有创造性贡献（代表性论文6）。获得发明专利授权18项，发表论文被SCI收录11篇、EI收录27篇。	清华大学	北京华卓精科科技股份有公司	助理研究员	无