完成单位：

北京烁科中科信电子装备有限公司，中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海凯世通半导体股份有限公司，中国科学院微电子研究所，上海集成电路研发中心有限公司，清华大学，北京大学，北京中科信电子装备有限公司

完成人：

张丛，欧欣，曾晓斌，彭立波，谢均宇，李士会，彭彬，林萍，杨亚兵，陈炯，刘仁杰，李俊峰，康晓旭，杨开明，许晓燕

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