陈鹏

陈鹏，杰出青年中关村奖获奖者，北京北方华创微电子装备有限公司射频工程中心总经理。研究方向为射频与等离子体技术。陈鹏带领团队开发出电感耦合、电容耦合等离子体技术，双频低损伤磁控溅射技术等多个射频与等离子相关的技术，研发出射频等离子系统，该系统是刻蚀机和PVD设备中的关键系统，使开发的刻蚀机和PVD打破了国外垄断，实现量产。生产的刻蚀机、PVD等装备在中芯国际、长江存储等主要集成电路生产企业应用。